Samenvatting

De opdracht achter dit project is het ontwerpen van een sampletransportsysteem voor FOM Rijnhuizen. De samples waar het om gaat zijn opgedampte spiegels, die extreem ultraviolet licht reflecteren. Het
transport loopt van de Advanced Development Coater (ADC), waar de samples geproduceerd worden, naar een nog aan te schaffen meetapparaat dat gebruik maakt van "low energy ion scattering" (LEIS):
het Qtac systeem. Een kritische factor in het ontwerp is de ultrahoog vacüum (UHV) omgeving die zijn beperkingen legt op het ontwerp.

Om te beginnen is, door middel van een haalbaarheidsstudie, bepaald of het Qtac systeem te gebruiken is in de gegeven ruimte. Vervolgens is beschreven hoe het systeem zijn vorm krijgt. In het ontwerp worden de samples over een afstand van 1340 mm getransporteerd, met behulp van een magnetisch gekoppelde manipulator. Vanaf hun oriëntatie op zijn kop in de ADC worden ze rechtop gedraaid, voor het transport richting de Qtac. Het transport is lineair, ondersteund door een rotatiemogelijkheid om de bewegingsas.

De ontworpen behuizing bestaat uit een UHV bestendige transportbuis en een uitwisselkamer, waar de sample met nauwkeurigheid op millimeterniveau overgepakt kan worden van de manipulator naar de
Qtac. Andersom kan de sample weer terug opgehangen worden in de coater, met dezelfde nauwkeurigheid. Vanaf dit punt kan de sample uitgewisseld worden met een transportsysteem dat al aanwezig is.

Het transportsysteem wordt op een gewenst vacüumniveau gehouden door een turbopomp. Verder wordt het gehele systeem ondersteund door een frame met verschillende mogelijkheden voor afstelling. Dit frame
draagt de Qtac en biedt toegang voor de gebruiker via een bordes.

Tijdens het ontwerpproces is rekening gehouden met de apparatuur die in de gegeven ruimte aanwezig is. Bovendien wordt een advies uitgebracht betreffende de herordening van deze apparatuur.